熱電熱交換システムに関するシステムおよび方法

摘要

本開示の実施形態は、複数の熱電冷却器（ＴＥＣ）を制御して、チャンバーの設定点温度を維持することに関する。一実施形態では、コントローラは、チャンバーの温度に対応する温度データを受信する。温度データに基づいて、コントローラは、２つまたは３つ以上のＴＥＣのサブセットを選択的に制御して、チャンバーの温度を所望の設定点温度に維持する。このようにして、コントローラは、ＴＥＣが効率的にチャンバーの温度を設定点温度に維持するようにＴＥＣを動作するように制御可能とされる。別の実施形態では、コントローラは、温度データおよび所望の成績特性に基づいて、コントローラによって可能とされた１つまたは２つ以上の制御スキームを選択する。次いで、コントローラは、選択された制御スキーム（複数可）にしたがって、１つまたは２つ以上のＴＥＣのサブセットを独立に制御する。【選択図】図１