| 摘要 |
<p>본 발명은 기판지지장치에 관한 것으로써, 특히, 제1아우터샤프트와 상기 제1아우터샤프트에 탈착가능하게 설치되는 제2아우터샤프트를 포함하는 아우터샤프트와, 제1이너샤프트와 상기 제1이너샤프트에 탈착가능하게 설치되는 제2이너샤프트를 포함하며, 상기 아우터샤프트 내부에 배치되는 이너샤프트를 포함하여, 아우터샤프트, 이너샤프트, 또는 아우터샤프트를 둘러싸는 벨로우즈를 교체할 때에 기판지지장치가 설치되는 장비 전체를 밑으로 내릴 필요 없이 아우터샤프트 또는 이너샤프트만 분리하면 되므로 교체작업이 용이해져서 단순화되고 교체 작업시 작업자의 안전성도 확보되며, 장비를 내림으로 인해 주변에 연결된 케이블의 끊어짐 및 노이즈 발생을 방지할 수 있는 기판지지장치에 관한 것이다.</p> |
