发明名称 |
具有振荡质量块的微机电装置和控制该装置的方法 |
摘要 |
本发明提供了具有振荡质量块的微机电装置和控制该装置的方法。该微机电装置,包括主体(2a)、弹性地连接到该主体(6;106)并可按照一自由度运动的运动质量块(2b)和驱动装置(6),其耦合到该运动质量块(2b)并被构造为在常规工作模式下保持运动质量块(2b)以稳定的工作频率(ω<sub>D</sub>)振荡。此外微机电装置还包括启动装置(7、8、10),其可在启动工作模式下被激活并被构造为比较与运动质量块(2b)的振荡关联的第一信号(CK<sub>A</sub>)的当前振荡频率(ω<sub>A</sub>)和参考频率(ω<sub>R</sub>),并基于该当前振荡频率(ω<sub>A</sub>)和参考频率(ω<sub>R</sub>)的比较判定是否向运动质量块(2b)提供加力信号包(V<sub>F</sub>),从而将能量传递到运动质量块(2b)。 |
申请公布号 |
CN102153043B |
申请公布日期 |
2015.07.22 |
申请号 |
CN201010625212.0 |
申请日期 |
2010.12.21 |
申请人 |
意法半导体股份有限公司 |
发明人 |
A·M·罗佐皮亚托罗恩科罗尼;C·卡米纳达;L·普兰迪 |
分类号 |
B81B3/00(2006.01)I;G01C19/5719(2012.01)I |
主分类号 |
B81B3/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京市金杜律师事务所 11256 |
代理人 |
王茂华 |
主权项 |
一种微机电装置,包括:主体(2a;106);运动质量块(2b;107),弹性地连接到所述主体(2a;106)并可按照一自由度相对于所述主体(2a;106)可振荡地运动;驱动装置(6;120、121、125、126、127),其耦合到所述运动质量块(2b;107)从而形成微机电环(5;119)并被构造为在常规工作模式下保持运动质量块(2b;107)以稳定的工作频率(ω<sub>D</sub>)振荡;其特征在于,启动装置(7、8、10;123、130、131),所述启动装置(7、8、10;123、130、131)可在启动工作模式下被激活并且被构造为将与运动质量块(2b;107)的振荡关联的第一信号(CK<sub>A</sub>;CKN)的当前振荡频率(ω<sub>A</sub>)与参考频率(ω<sub>R</sub>)比较,并基于当前振荡频率(ω<sub>A</sub>)和参考频率(ω<sub>R</sub>)之间的比较判定是否向运动质量块(2b;107)提供加力信号包(V<sub>F</sub>),从而将能量传递到运动质量块(2b;107);其中所述加力信号包(VF)具有受控持续时间,使得由所述加力信号包传递到所述运动质量块(2b;107)的能量小于以从平衡状态启动将所述运动质量块(2b;107)送到具有稳定操作频率(ω<sub>D</sub>)的稳定振荡所需的能量。 |
地址 |
意大利阿格拉布里安扎 |