蚀刻玻璃基板的装置

摘要

一种用于蚀刻玻璃基板的装置，包括：容器，配置为容纳蚀刻剂；第一板，位于所述容器中，并配置为在该第一板上接收水平放置的玻璃基板；和循环单元，位于所述容器中且面向所述第一板，并配置为在所述第一板的面上产生所述蚀刻剂的流动。

主权项

一种用于蚀刻玻璃基板的装置，该装置包括：容器，配置为容纳蚀刻剂；第一板，位于所述容器中，并配置为在该第一板上接收水平放置的多个玻璃基板；循环单元，位于所述容器中且面向所述第一板，并配置为在所述第一板的面上产生所述蚀刻剂的流动；供应管，配置为将所述蚀刻剂供应到所述容器内；连接到所述容器的底面以排出所述蚀刻剂的收集管；和形成在所述第一板与所述容器之间的排出孔以及贯穿所述第一板形成的排出孔，其中所述蚀刻剂通过所述排出孔，其中，所述循环单元包括：第二板，面向所述第一板；旋转叶片，位于所述第二板的顶面或底面上；和配置为控制所述第二板的驱动单元，其中所述驱动单元配置为调节所述第一板与所述第二板之间的距离以及所述第二板的旋转速度，所述装置进一步包括：传感器，位于所述容器的侧壁上并邻近所述第一板，且配置为测量所述玻璃基板的厚度；和控制单元，配置为接收来自所述传感器的信号并向所述驱动单元提供驱动信号。