发明名称 |
一种多晶硅还原炉 |
摘要 |
本实用新型涉及一种多晶硅还原炉,包括圆形的底座和设置在所述底座上的相应的炉体,所述底座上设置有能够称量炉体内的多晶硅的重量的称重模块。通过采用本实用新型所公开的多晶硅还原炉,通过在所述底座上设置有能够称量炉体内的多晶硅的重量的称重模块,可以在多晶硅的生产过程中就准确地获得生成的多晶硅的重量,从而可以计算出多晶硅的沉积速率,转化率等等数据,从而可以有效地指导生产。 |
申请公布号 |
CN204490519U |
申请公布日期 |
2015.07.22 |
申请号 |
CN201520119789.2 |
申请日期 |
2015.02.28 |
申请人 |
内蒙古鄂尔多斯电力冶金股份有限公司氯碱化工分公司 |
发明人 |
宁阳阳 |
分类号 |
C01B33/035(2006.01)I;C01B33/03(2006.01)I |
主分类号 |
C01B33/035(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
李相雨 |
主权项 |
一种多晶硅还原炉,包括圆形的底座和设置在所述底座上的相应的炉体,其特征在于,所述底座上设置有能够称量炉体内的多晶硅的重量的称重模块。 |
地址 |
016064 内蒙古自治区鄂尔多斯市鄂托克旗棋盘井镇工业园区 |