一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器

摘要

本发明涉及一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器，包括基体、悬臂梁、激励压电薄膜、检测压电薄膜，所述悬臂梁一端固定在基体上，另一端自由悬空，悬臂梁上表面设有激励压电薄膜，悬臂梁下表面设有检测压电薄膜，所述悬臂梁内部设有用于检测的迂回通道，所述悬臂梁固定端设有通道的入口和出口，本发明有益效果为提高了传感器的灵敏度和测量效率。

主权项

一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器，包括基体(1)、悬臂梁(2)、激励压电薄膜(3)、检测压电薄膜(4)，所述悬臂梁(2)一端固定在基体(1)上，另一端自由悬空，悬臂梁(2)上表面设有激励压电薄膜(3)，悬臂梁(2)下表面设有检测压电薄膜(4)，其特征在于：所述悬臂梁(2)的自由悬空端内部设有U型折弯的蛇形迂回微通道(21)，所述悬臂梁(2)固定端设有通道(21)的入口和出口，所述通道(21)为若干个W型通道连接组成、若干个S型通道连接组成或若干个Z型通道连接组成。