冷剥除器、串列加速器与产生高能离子束的方法;COLD STRIPPER, TANDEM ACCELERATOR AND METHOD OF GENERATING HIGH-ENERGY ION BEAM

摘要

提供一种用于高能离子植入器系统的冷剥除器。所述冷剥除器包含：剥除器管，所述剥除器管具有中空空腔；所述剥除器管中的用于将带正电的离子的离子束导入到所述中空空腔中的第一孔隙和所述剥除器管中的用于将所述离子束从所述中空空腔排出的第二孔隙；气体泵，所述气体泵耦接到所述中空空腔以将气体引入到所述中空空腔中；所述剥除器管中的一个或多于一个冷却通路；以及冷却剂泵，所述冷却剂泵耦接到所述一个或多于一个冷却通路以使冷却剂在所述一个或多于一个冷却通路中循环。