薄膜检查装置及方法;Apparatus And Method For Inspecting Film

摘要

本发明是有关一种薄膜检查技术，且有关一种薄膜检查装置及方法，其系检查往预定方向移送之薄膜的外观。本发明有关一种薄膜检查装置，包括：支承体；及至少一支承辊，其与前述支承体结合，在往第1轴方向移送之薄膜下部，支持前述薄膜。