利用测试数据进行品管方法

摘要

本发明公开一种利用测试数据进行品管方法，是晶圆被分为多个被测元件，各被测元件经晶圆测试电气特性及效能时，以一收集单元在晶圆进行晶圆测试后收集晶圆的批号、晶圆的型号、被测元件在晶圆上的坐标、被测元件号以及被测元件测试的参数与测试结果的数据，并送往一测试数据分析站进行分析，以此数据制作各种收集资料的常态分布图，计算出差异数与标准差，作为品质管制监控手段或测试程式稳定度分析，由此构成本发明。

主权项

一种利用测试数据进行品管方法，其特征在于：晶圆被分为多个被测元件，各所述被测元件经晶圆测试电气特性及效能时，以一收集单元在所述晶圆进行晶圆测试后收集所述晶圆的批号、所述晶圆的型号、所述被测元件在晶圆上的坐标、所述被测元件号以及所述被测元件测试的参数与测试结果的数据，并送往一测试数据分析站进行分析，以所述数据制作各种收集资料的常态分布图，计算出差异数与标准差，作为品质管制监控手段或测试程式稳定度分析。