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<p>피처리체를 수납하는 복수의 용기와, 내부에서 피처리체에 원하는 처리가 실시되는 복수의 처리실과, 피처리체를 일시적으로 보관하는 일시 보관실과, 피처리체를 반송하는 반송 장치를 갖는 처리 장치를 이용하여 피처리체를 처리하는 방법으로서, 상기 복수의 용기로부터 상기 복수의 처리실에 미처리의 피처리체를 반송하는 제1 공정과, 상기 복수의 처리실로부터 상기 일시 보관실에 처리 완료 피처리체를 반송하는 제2 공정과, 어느 하나의 용기의 최종 피처리체에 대한 처리 타이밍에 따라서, 상기 일시 보관실로부터 처리 완료 피처리체의 회수를 시작한 용기에, 다른 용기에 우선하여 순서대로 처리 완료 피처리체를 회수하고, 상기 용기로의 회수를 종료시키는 제3 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 처리 방법이 제공된다.</p> |
