发明名称 用于光学检测的照明系统及使用其之检测系统、检测方法
摘要
申请公布号 TWI491871 申请公布日期 2015.07.11
申请号 TW102124264 申请日期 2013.07.05
申请人 牧德科技股份有限公司 发明人 汪光夏;陈辉毓
分类号 G01N21/956 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人 赖安国 台北市信义区东兴路37号9楼;王立成 台北市信义区东兴路37号9楼
主权项 一种光学检测方法,系具有第一至第三光源组之照明系统的光学检测系统,一影像撷取装置系配置于检测区的上方,用以撷取该照明系统之第一至第三光源组投射至该检测区后的反射光线,以进行待测物位于检测区中的光学检测,该光学检测方法包含以下步骤:使第一至第三光源组之第一至第三照射光线投射至该检测区中的该待测物上,该第一及第二光源组系产生波长段为第一波长段的照射光线且第二光源组产生之照射光线的入射角系大于第一光源组所产生者,该第三光源组系产生波长段为第二波长段的照射光线且第三光源组产生之照射光线的入射角系大于第二光源组所产生者,其中该第一波长段系大于该第二波长段;彩色扫描相机产生所撷取到之包含第一波长段及第二波长段之波长的影像资料;进行第一次判定步骤,根据该第一波长段的影像资料判定是否有代表缺陷的暗部,于判定结果为「否」时产生该检测区检测正常的检测结果,以及于判定结果为「是」时进入第二次判定步骤;及进行第二次判定步骤,根据该第二波长段的影像资料判定于该第一波长段的影像资料中被第一次判定步骤判定为缺陷的暗部处是否仍为暗部,于判定结果为「是」产生该暗部处系为缺陷的检测结果,以及判定结果为「否」时产生该第一次判定步骤中所判定之该暗部处系为不具有缺陷的检测结果。
地址 新竹县宝山乡新竹科学工业园区工业东九路15号3楼