| 主权项 |
一种基板处理装置，包含：复数模组群组，分别包含复数模组，至少一模组群组包含一多重模组，该多重模组具有用以对基板进行同一处理之复数模组；运送机构，自该多重模组之上游侧的模组取出基板、将该基板运送至该多重模组中的模组、以及依序将该基板置入该多重模组中之该各模组；记忆部，记忆有包含运送循环的运送时程表，该运送机构按照该运送时程表将该基板运送至该多重模组中之该各模组；及控制部，基于该记忆部中的该运送时程表来控制该运送机构；其中，在构成该多重模组之该等模组其中至少一模组成为无法使用模组，且该等模组其中至少一模组为可使用模组时，该控制部进行下述(2)之动作：(2)当产生该无法使用模组时，在应载置于该无法使用模组的该基板已于该无法使用模组的前一模组内待命之情形下，且在该运送循环已开始，该运送机构在该运送循环中位于该无法使用模组的上游侧之情形下：(2-a)将应载置于该无法使用模组而此刻放置于位在该多重模组之上游侧的多重模组上之该基板的运送目的地变更为该基板之下一基板应被送入之该多重模组中之模组；(2-b)当该基板之下一基板应被送入之该模组系无法使用模组时，则搜寻再下一基板应被送入之另一模组，俾能寻找到可使用模组，并决定该可使用模组作为该运送目的地；及(2-c)在如此方式决定之该运送目的地模组尚未准备好送出先前之基板时，该运送机构之运送动作系在已决定作为该运送目的地之该模组的上游侧待命。
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