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<p>이송 진공로봇이 개시된다. 이송로봇으로서, 지면으로 부터 상하운동을 하면서 중공으로 형성된 하부 프레임(130)과 상기 하부 프레임(130)을 상하운동으로 이동하도록 구동력을 전달하는 제1 구동장치(110)를 구비하는 하부 몸체(10); 지면으로 돌출되면서 상기 하부 프레임(130)에 삽입되고 중공으로 형성된 상부 프레임(210)과 상기 상부 프레임(210)을 회전하도록 돌출 부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제2 구동장치(230)를 구비하는 상부 몸체(20) 지면으로 돌출되면서 상기 상부 프레임(130)에 삽입되고 중공으로 형성된 제1 회전축(370)과 상기 제1 회전축(370)의 돌출부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제3 구동장치(390)와 제3 구동장치(390)의 구동력을 전달받아 기판을 이송시키는 암(300)을 구비하는 하부핸드(30) 상기 제1 회전축(370)에 삽입되고 지면으로 돌출된 제2 회전축(470)과 상기 제2 회전축(470)의 돌출부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제4 구동장치(490)와 제4 구동장치의 구동력을 전달받아 기판을 이송시키는 암(400)을 구비하는 상부핸드(40)를 포함하는 이송로봇을 제공한다.</p> |
