| 摘要 |
<p>이면끼리가 대향하는 2매의 기판이 스페이서 부재를 개재하여 적층되어 이루어지는 적층체를 상하 방향으로 복수 보유지지(holding)하는 기판 보유지지부에 대하여, 적층체를 반송하는 기판 반송 장치로서, 기판 보유지지부와의 사이에서 적층체를 인수인도하는 제1 포크(fork)와, 제1 포크의 상방에, 기판 및 스페이서 부재를 수용하는 수용부에 진퇴 가능하고 그리고 상하 반전 가능하게 설치되고, 수용부와 제1 포크와의 사이에서 기판 또는 스페이서 부재를 인수인도하는 제2 포크와, 제2 포크의 한쪽의 면측에 설치되고, 기판을 위에서 홀딩하는 제1홀딩 기구와, 제2 포크의 한쪽의 면과 동일면측에 설치되고, 스페이서 부재를 위에서 홀딩하는 제2 홀딩 기구를 구비한다.</p> |
