发明名称 |
紫外光穿透构件之温度测量方法、紫外光穿透构件之温度测量装置、光源装置 |
摘要 |
本发明之提供一种能以简明之构成测量紫外光穿透构件之温度的温度测量方法、温度测量装置等。;本发明例示之一态样,系测量可使紫外光穿透之紫外光穿透构件之温度的温度测量装置。此温度测量装置2,具备检测穿透过紫外光穿透构件之紫外光UV1之强度分布的分光测量部20、与从使用分光测量部20检测之紫外光之强度分布求出紫外光穿透构件之吸收端波长并根据求出之吸收端波长导出紫外光穿透构件之温度的运算处理部25。 |
申请公布号 |
TW201526714 |
申请公布日期 |
2015.07.01 |
申请号 |
TW103145881 |
申请日期 |
2014.12.27 |
申请人 |
尼康股份有限公司 NIKON CORPORATION |
发明人 |
水口雅史 MIZUGUCHI, MASAFUMI |
分类号 |
H05G1/26(2006.01);H05G1/54(2006.01) |
主分类号 |
H05G1/26(2006.01) |
代理机构 |
|
代理人 |
阎启泰林景郁 |
主权项 |
|
地址 |
日本 JP |