发明名称 |
多晶硅碱性制绒方法 |
摘要 |
本发明提供种一种多晶硅碱性制绒方法,包括:配制碱性腐蚀液,其中NaNO<sub>2</sub>、NaOH和去离子水的质量比为8:1:50至10:1:50;将多晶硅片放入腐蚀液中制绒,腐蚀液的温度为75至80℃,制绒时间为25至45秒;以去离子水漂洗硅片,漂洗时间约为2分钟;以酸性溶液漂洗硅片,酸性溶液中HCl、HF和去离子水的体积比为1:3:8,漂洗时间为120至150秒;以去离子水再次漂洗硅片,漂洗时间约为2分钟。将硅片烘干。采用本发明提供的制绒方法可降低生产投入、缩短太阳能电池的制作周期、降低生产能耗,且所得到的绒面均匀性好、可降低太阳能电池表面的反射率。 |
申请公布号 |
CN103151425B |
申请公布日期 |
2015.07.01 |
申请号 |
CN201310086008.X |
申请日期 |
2013.03.18 |
申请人 |
内蒙古日月太阳能科技有限责任公司 |
发明人 |
李云;谢俊叶;马承鸿;倪明镜;李健 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
隆天知识产权代理有限公司 72003 |
代理人 |
刘春生;于宝庆 |
主权项 |
一种多晶硅碱性制绒方法,其特征在于,包括下述步骤:(1)配制碱性腐蚀液,其中NaNO<sub>2</sub>、NaOH和去离子水的质量比为8:1:50至10:1:50;(2)将多晶硅片放入腐蚀液中制绒,腐蚀液的温度为75至80℃,制绒时间为25至45秒;(3)以去离子水漂洗硅片,漂洗时间为2分钟;(4)以酸性溶液漂洗硅片,酸性溶液中HCl、HF和去离子水的体积比为1:3:8,漂洗时间为120至150秒;(5)以去离子水再次漂洗硅片,漂洗时间为2分钟;(6)将硅片烘干。 |
地址 |
010111 内蒙古自治区呼和浩特市如意开发工业新区 |