一种高纯氨水的连续生产方法

摘要

本发明涉及一种高纯氨水的连续生产方法，所述生产方法以工业级液氨为原料，所述生产方法包括依次且连续进行的降压蒸发、油水分离、过滤、混合吸收和循环过滤的步骤获得高纯氨水。本发明生产方法获得的高纯氨水中单项金属离子含量降低至50 ppt以下，单项阴离子杂质含量降低至40ppb以下，大于等于0.5μm颗粒浓度小于等于25个/ml。此外，本发明生产方法所采用工艺流程简单、生产条件易满足、维护方便，适合连续化生产。

主权项

一种高纯氨水的连续生产方法，以工业级液氨为原料，其特征在于：所述生产方法包括依次且连续进行的如下步骤：（1）降压蒸发：将工业级液氨以150~250 kg/h的流速通过降压蒸发器降压蒸发，得到氨气；（2）油水分离：将经步骤（1）处理后的氨气通过油水分离器除去氨气中油分和水分；（3）过滤：将经步骤（2）处理后的氨气通过气体过滤器过滤得到高纯氨气，所述高纯氨气中大于等于0.5μm颗粒浓度控制在25个/ml以下，单项金属离子含量小于50 ppt；（4）吸收混合：用电阻率大于等于18 MΩ·cm的超纯水将经步骤（3）处理后的氨气循环吸收，获得半成品氨水；（5）循环过滤：将经步骤（4）处理后的半成品氨水通过液体过滤器循环过滤，氨水中大于等于0.5μm颗粒浓度降低至25个/ml以下时，结束循环过滤获得所述高纯氨水，所述高纯氨水中单项金属离子含量小于50 ppt，单项阴离子杂质含量小于40 ppb。