| 摘要 |
提供能够减少反射极的绝缘性降低之支撑结构及离子产生装置。离子产生装置(10)具备：电弧腔室(12)；反射极(62)，其具有设置于电弧腔室内之反射板(64)、及插通于连通电弧腔室(12)内外之贯通孔(60)之反射极延长部(66)；以及支撑结构(70)，其设置于电弧腔室(12)的外侧，并支撑反射极成得以确保反射极延长部(66)与贯通孔(60)的内壁之间的间隙(60a)。支撑结构(70)具有：盖构件(80)，其在电弧腔室(12)的外部划分与间隙(60a)连通之小室(88)；以及绝缘构件(72)，其将电弧腔室(12)与反射极(62)之间电绝缘。 |
