用于在半导体晶圆上之缺陷之自动分类的决策树结构;DECISION TREE CONSTRUCTION FOR AUTOMATIC CLASSIFICATION OF DEFECTS ON SEMICONDUCTOR WAFERS

摘要

本发明提供用于半导体晶圆上之缺陷之自动分类之决策树结构的方法及系统。一方法包含产生一决策树以藉由变更该决策树中之一或多个浮动树来分类在一晶圆上侦测到的缺陷。该一或多个浮动树系作为个别单元操控之子树。此外，该方法包含藉由应用该决策树于在该晶圆上侦测到之该等缺陷来分类该等缺陷。