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<p>반송 지그는 복수의 개별 기판이 소정의 배열로 적재되는 기판 지지면과 상기 기판 지지면에 적재되는 상기 복수의 개별 기판을 각각 흡착하기 위한 복수의 흡착 구멍과 이들 흡착 구멍에 연결되는 하나의 진공실을 포함하는 지그 본체부와, 상기 진공실에 부압을 공급하기 위한 공급구와 이 공급구와 상기 진공실 사이에 배치되는 진공 밸브를 포함하는 감압 유지부를 구비하고, 상기 진공 밸브는 상기 진공실에 부압이 공급된 상태에서 폐쇄됨으로써 상기 진공실을 감압 상태로 유지한다.</p> |
