排气泵的堆积物检测装置和具备该装置的排气泵

摘要

本发明提供一种堆积物检测装置和具备该装置的排气泵，其不管处理中使用的气体的种类、流量如何，而在什么样的处理中都能够更正确地检测该处理中使用的排气泵内的堆积物（泵内堆积物），且进行警告。排气泵（P）的泵控制装置（50）包含检测泵内堆积物的堆积物检测装置，堆积物检测装置具有执行初始处理的功能以及执行上述初始处理之后的事后处理的功能，作为上述初始处理，指的是对排气泵的旋转体进行旋转驱动的电动机的电流值进行读入处理和基于读入的电动机电流值求出电动机电流初始值并进行存储处理，作为上述初始处理之后的事后处理，指的是对上述电动机的电流值进行读入处理、基于读入的电动机电流值求出电动机电流当前值的处理、以及求出电动机电流当前值相对于电动机电流初始值的变化量的处理，堆积物检测装置基于该变化量来检测泵内堆积物。

主权项

一种排气泵的堆积物检测装置，该排气泵通过旋转体的旋转动作对气体进行排气，该堆积物检测装置的特征在于，上述堆积物检测装置具有：执行初始处理的功能；以及执行上述初始处理之后的事后处理的功能，作为上述初始处理，指的是读入对上述旋转体进行旋转驱动的电动机的电流值的处理和基于该读入的电动机电流值求出电动机电流初始值并进行存储的处理，作为上述初始处理之后的上述事后处理，指的是对上述电动机的电流值进行读入的处理、基于该读入的电动机电流值求出电动机电流当前值的处理、以及求出上述电动机电流当前值相对于上述电动机电流初始值的变化量的处理，上述堆积物检测装置基于该变化量来检测泵内堆积物。