一种石墨材质基板表层氮化硅的清洗方法

摘要

本发明实施例公开了一种石墨材质基板表层氮化硅的清洗方法，包括：在清洗槽内采用氢氟酸溶液对表层覆有氮化硅的石墨材质基板进行清洗，直至去除石墨材质基板表层的氮化硅。本发明所提供的方法采用化学方法去除氮化硅，即：利用氢氟酸与氮化硅的化学反应来清洗氮化硅，由于氢氟酸不与石墨发生反应，所以不会对石墨材质的基板造成影响，保持了基板原有的物理性质，不会降低基板的使用寿命。

主权项

一种石墨材质基板表层氮化硅的清洗方法，其特征在于，包括：将清洗槽置于有排风装置的容器中；将石墨材质基板置于清洗槽内，开启排风装置，并向所述清洗槽内通入氢氟酸溶液；在清洗槽内采用氢氟酸溶液对表层覆有氮化硅的石墨材质基板进行清洗，直至去除石墨材质基板表层的氮化硅；其中，在清洗槽内采用氢氟酸溶液去除石墨材质基板表层的氮化硅，具体包括：使表层覆有氮化硅的石墨材质基板在氢氟酸溶液中浸泡8h～16h；将清洗槽内的氢氟酸溶液排放出去；向所述清洗槽内通入清水，且使所述清水淹没所述石墨材质基板；使所述石墨材质基板在所述清水中浸泡8h；将清洗槽内的清水排放出去；再次向所述清洗槽内通入清水，且使通入的清水淹没所述石墨材质基板；再次使所述石墨材质基板在清水中浸泡8h；将所述石墨材质基板从清洗槽内捞出并晾干；在清洗槽内采用氢氟酸溶液对表层覆有氮化硅的石墨材质基板进行清洗，具体包括：将石墨材质基板置于清洗槽内，且使石墨材质基板上覆有氮化硅的一面朝下放置；向所述清洗槽内通入清水，使所述清水淹没所述石墨材质基板，并记录通入清水的体积；向所述清洗槽内通入浓度为40％的氢氟酸，且使通入的氢氟酸的体积与清洗槽内清水的体积比为1:4～1:10；或者，在清洗槽内采用氢氟酸溶液对表层覆有氮化硅的石墨材质基板进行清洗，具体包括：将石墨材质基板置于清洗槽内，且使石墨材质基板上覆有氮化硅的一面朝下放置；采用体积比在1:4～1:10之间的浓度为40％的氢氟酸和清水配制氢氟酸溶液；将配制好的氢氟酸溶液通入清洗槽内，使所述氢氟酸溶液淹没所述石墨材质基板。