离子减速模组

主权项

一种离子减速模组，适用于一离子植入机，该离子减速模组包括：一框架；一电极组件，配置于该框架上，并适于接收电压而在一离子束通过时调整该离子束；以及至少一绝缘组件，配置于该框架的一侧，其中该绝缘组件包括多个绝缘套管，彼此分离并依序套设在一起。