发明名称 有轨道台车系统
摘要
申请公布号 TWI488794 申请公布日期 2015.06.21
申请号 TW100121747 申请日期 2011.06.22
申请人 村田机械股份有限公司 发明人 脇阪道伸
分类号 B65G49/07;H01L21/677;B61D27/00 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人 赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼
主权项 一种有轨道台车系统,系配置于具有将洁净之空气之下向流自天花板吹出之吹出口之无尘室内者,其具备:轨道,其于上述无尘室内自天花板被悬垂;搬送台车,其沿上述轨道行走而可搬送物品;底盖,其覆盖上述轨道之底部;侧盖,其覆盖上述轨道及搬送台车之侧方;排出口,其设置于上述底盖及侧盖之至少任一方,并将自上述吹出口导入之上述下向流排出;内盖,其于上述侧盖之内侧覆盖上述轨道之周围;及风扇过滤单元,其抽吸上述内盖内之空气。
地址 日本