| 主权项 |
一种制备三氯矽烷的方法，其包含：将一反应物混合物引进一反应器中，该反应物混合物包含四氯化矽与氢；从该反应器中回收第一粗产物，该第一粗产物包含三氯矽烷、四氯化矽、氢、矽及金属盐；从该第一粗产物中分离出至少一部分的矽及金属盐，以产生第二粗产物与第一残余物，该第二粗产物包含三氯矽烷、四氯化矽及氢；及该第一残余物包含三氯矽烷、四氯化矽、矽及金属盐；及让至少一部分的第一残余物与一接触气体接触，以产生一富含固体的残余物及一蒸气产物，该蒸气产物包含三氯矽烷及四氯化矽；及该富含固体的残余物包含矽及金属盐。
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