| 发明名称 |
用于强化热丝化学气相沉积制程中的钽灯丝寿命的方法 |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
TWI488992 |
申请公布日期 |
2015.06.21 |
| 申请号 |
TW100136766 |
申请日期 |
2011.10.11 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
塔库尔毕平;库兹乔伊格里非斯;凯乐史帝芬;古加尔维卡斯;帕蒂尔拉文卓拉 加努 |
| 分类号 |
C23C16/455 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
| 主权项 |
一种操作一热丝化学气相沉积(HWCVD)工具的方法，该方法包含以下步骤：提供足够的氢气(H2)以毯覆一钽灯丝，历经一第一时段，该灯丝置于该HWCVD工具的一处理腔室中，该第一时段经选用以协助清除该处理腔室中的残留氧气；以及经过该第一时段后，使一电流流过该钽灯丝，以将该钽灯丝的温度提高至一第一温度，其中该第一温度系随后将发生一CVD沉积制程的一温度。 |
| 地址 |
美国 |
