| 摘要 |
본 발명의 실시예는 박막 트랜지스터, 그 제조 방법 및 디스플레이 장치를 제공한다. 박막 트랜지스터를 제조하기 위한 방법은, 기판을 제공하는 단계, 상기 기판 상에 반도체층을 형성하는 단계, 게이트 절연층을 형성하는 단계, 및 게이트 전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 게이트 절연층은 제1 게이트 절연층을 포함하고, 상기 제1 게이트 절연층은 상기 반도체층의 일부를 산화시켜 형성하고, 상기 반도체층의 비산화 부분은 활성층으로 형성하며, 상기 게이트 전극은 상기 게이트 절연층이 상기 게이트 전극과 상기 활성층 사이에 개재되는 방식으로 형성된다. |
