衬底支撑件

摘要

本实用新型通常涉及用于处理腔室中的衬底支撑件。衬底支撑件被分成多个象限，其中每一象限能够独立于其他象限加热。独立加热允许衬底支撑件提供不同加热至同时布置在衬底支撑件上的不同衬底，或至公用衬底的不同区域。因此，衬底加热可被定制以确保发生衬底或多个衬底的所需处理。

主权项

一种衬底支撑件，其特征在于，包含：矩形衬底支撑件主体，具有第一象限、第二象限、第三象限和第四象限；第一加热元件，布置在所述第一象限中且从所述衬底支撑件主体的中心区域延伸，所述第一加热元件具有：第一节段，具有第一长度且从所述中心区域延伸；第二节段，具有第二长度；第三节段，具有第三长度且大体上垂直于所述第二节段延伸；和第四节段，具有第四长度且大体上垂直于所述第三节段延伸且大体上平行于所述第二节段，所述第四节段延伸到中心区域；第二加热元件，大体上由所述第一加热元件围绕，所述第二加热元件具有大体上“C”形图案；第一热电偶，布置在所述第一加热元件和所述第二加热元件之间；和第二热电偶，至少部分地由所述“C”形图案围绕。