保持垫;HOLDING PAD

摘要

本发明为一种保持垫，其系具备具有用以保持被研磨物的保持面的聚胺甲酸乙酯树脂薄片之保持垫，并且上述聚胺甲酸乙酯树脂薄片在40℃的贮藏弹性率E’为0.3~2.0MPa，且上述聚胺甲酸乙酯树脂薄片的吸水量为95~200mg/50.3cm 2 。