Messung von Koordinaten einer Werkstückoberfläche zumindest eines Werkstücks unter Verwendung einer Sensoreinheit

摘要

Die Erfindung betrifft die Messung von Koordinaten einer Werkstückoberfläche zumindest eines Werkstücks (31), wobei ein Koordinatenmessgerät (11) verwendet wird, das Messsignale einer ersten Sensoreinheit (21), die die Messsignale während einer taktilen Abtastung der Werkstückoberfläche erzeugt, verarbeitet und aus den Messsignalen die Koordinaten der Werkstückoberfläche ermittelt. Die erste Sensoreinheit (21) wird von einer ersten Bewegungseinrichtung, die Teil des Koordinatenmessgeräts (11) ist aber nicht Teil der ersten Sensoreinheit (21) ist, bewegt, um einen an der ersten Sensoreinheit (21) befestigten Taster (26, 29) in die Nähe der Werkstückoberfläche und/oder in taktilen Kontakt zu der Werkstückoberfläche zu bringen. Zur Messung der Koordinaten von ersten Formmerkmalen der Werkstückoberfläche mit einer ersten örtlichen Auflösung wird ein an einer Befestigungseinrichtung der ersten Sensoreinheit (21) befestigter erster taktiler Taster (26) verwendet und die erste Sensoreinheit (21) erzeugt erste Messsignale, aus denen die Koordinaten der ersten Formmerkmale mit der ersten Auflösung ermittelbar sind. Zur Messung der Koordinaten von zweiten Formmerkmalen mit einer zweiten, im Vergleich zu der ersten Auflösung feineren örtlichen Auflösung der Werkstückoberfläche wird eine zweite Sensoreinheit (30) an der Befestigungseinrichtung der ersten Sensoreinheit (21) befestigt. Ein zweiter taktiler Taster (29), der an der zweiten Sensoreinheit (30) befestigt ist oder der Teil der zweiten Sensoreinheit (30) ist, wird verwendet, die Werkstückoberfläche taktil abzutasten, und die zweite Sensoreinheit (30) erzeugt zweite Messsignale, aus denen die Koordinaten der zweiten Formmerkmale mit der zweiten Auflösung ermittelbar sind. Der zweite taktile Taster (29) wird gemeinsam mit der zweiten Sensoreinheit (30) von einer zweiten Bewegungseinrichtung (24) bewegt, die Teil der ersten Sensoreinheit (21) ist, und dadurch führt der zweite taktile Taster (29) eine taktile Abtastung der Werkstückoberfläche durch, während der die zweiten Messsignale erzeugt werden. Die zweite Sensoreinheit (30) erzeugt während der taktilen Abtastung durch den zweiten taktilen Taster (29) die zweiten Messsignale, die das Koordinatenmessgeräts (11) verarbeitet und aus denen das Koordinatenmessgerät (11) die Koordinaten der zweiten Formmerkmale mit der zweiten Auflösung ermittelt.