| 摘要 |
<p>필드 내의 선택적 위치로 레이저 빔을 향하게 하도록 각각 배열된 복수의 선택적으로 방향 지정 가능한 미러들(38), 상기 선택적으로 방향 지정 가능한 미러들의 배향(orientation)을 감지하고 미러 배향 출력을 제공하도록 동작하는 복수의 미러 배향 센서(45); 그리고 상기 복수의 선택적으로 방향 지정 가능한 미러들을 자동으로 조정하기 위한 자동 조정 서브시스템(47)을 포함하되, 상기 자동 조정 서브 시스템은: 상기 선택적으로 방향 지정 가능한 미러들 각각의 필드만큼 큰 영역을 가지며, 이 영역에 레이저 빔의 충돌에 대한 광학으로 가시적인 표시를 제공하도록 동작하는 타깃(40)으로서, 상기 타깃은 재기록 가능하고 광학으로 가시적인 기준 마킹(54, 56)을 가지는 것이 특징이며; 상기 선택적으로 방향 지정 가능한 미러들 각각의 필드 내에 상기 타깃을 선택적으로 배치하면서, 상기 선택적으로 방향 지정 가능한 미러들 각각이 선택적 위치로 레이저 빔을 향하게 하도록 하는 타깃 포지셔너(42); 상기 레이저 빔의 충돌에 뒤이어 상기 타깃을 검사하고 레이저 빔 충돌 출력을 제공하는 광학 센서(44); 그리고 조정 출력을 제공하기 위해 상기 미러 배향 출력과 상기 레이저 빔 충돌 출력에 응답하여 동작하는 상관기(36)를 포함하는 광학 시스템이 제공된다.</p> |
