基板标记位置的抓取装置与抓取方法

摘要

一种基板标记位置的抓取装置，用于对基板上的标记位置进行抓取，所述抓取装置包括承载平台及对位摄像机，所述承载平台用于承载所述基板，所述对位摄像机设于所述承载平台的上方，所述对位摄像机用于抓取所述基板上的标记所在区域的图像，所述承载平台上设有反光面，所述反光面的位置与所述基板上的标记以及所述对位摄像机均相对应，所述反光面用于加强所述承载平台在所述反光面区域反射光线的能力。本发明提供的基板标记位置的抓取装置及抓取方法，通过在承载平台上设置反光面，使得承载平台能够将光线更好地反射入对位摄像机中，使得工作人员能够更容易地识别出基板的标记在对位摄像机抓取的图像中的位置，从而更准确地对基板进行定位作业。

主权项

一种基板标记位置的抓取装置，用于对基板上的标记位置进行抓取，所述抓取装置包括承载平台及对位摄像机，所述承载平台用于承载所述基板，所述对位摄像机设于所述承载平台的上方，所述对位摄像机用于抓取所述基板上的标记所在区域的图像，其特征在于：所述承载平台上设有反光面，所述反光面的位置与所述基板上的标记以及所述对位摄像机均相对应，所述反光面用于加强所述承载平台在所述反光面区域反射光线的能力。