基于硅基G-T腔的光纤温度传感系统

摘要

一种基于硅基G-T腔的光纤温度传感系统，包括依次连接的光源、硅基G-T腔光纤温度传感器和光谱分析单元，所述硅基G-T腔光纤温度传感器包括具有空腔的固定套管、双光纤头、硅传感芯片和填充物，所述硅传感芯片粘接于所述空腔内壁之间，所述双光纤头粘接于所述空腔的一端与所述硅传感芯片的一侧相对，所述硅传感芯片的另一侧相对的所述空腔以所述填充物填充。系统采用硅传感芯片，传感器各部件间采用胶进行粘接，传感器内部整体呈固体填充状态，在保持结构简单、成本低、抗电磁干扰等优点的同时，具备受外界压力干扰小、测量精度高、长期可靠性高。

主权项

一种基于硅基G‑T腔的光纤温度传感系统，其特征在于，包括依次连接的光源、硅基G‑T腔光纤温度传感器和光谱分析单元，所述硅基G‑T腔光纤温度传感器包括具有空腔的固定套管、双光纤头、硅传感芯片和填充物，所述硅传感芯片粘接于所述空腔内壁之间，所述双光纤头粘接于所述空腔的一端与所述硅传感芯片的一侧相对，所述硅传感芯片的另一侧相对的空腔以所述填充物填充。