SUPPORT PLATE, METHOD FOR PRODUCING THE SAME, AND METHOD FOR PROCESSING SUBSTRATE
摘要
<p>처리 후의 웨이퍼를 서포트 플레이트로부터 박리하는 공정을 지연시키지 않고 안정적으로 실시할 수 있는 서포트 플레이트를 실현한다. 본 발명의 서포트 플레이트는, 접착제를 개재하여 기판을 지지하는 서포트 플레이트로서, 접착제와 접하는 면을 갖는 판상부와, 접착제와 접하는 상기 면 상에 형성된 스페이서를 포함한다.</p>
