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<p>몰 운반 시스템 및 방법은 이상 기체 법칙의 함수로서 유도되는 각 펄스의 지속 시간의 함수로서 알려진 몰량의 펄스를 제공한다. 시스템의 일 실시예에서, 시스템은, 알려진 체적과 제어되고 알려진 온도의 챔버; 챔버 내의 압력을 측정하기 위한 압력 센서, 공정 도구로의 출구 밸브, 챔버를 운반 가스로 충전하는 입구 밸브; 및 출구 밸브의 동작을 제어하고 공정 도구로의 밸브의 타이밍을 제어함으로써 각 가스 펄스의 양을 제어하도록 구성되고 배열된 제어 시스템을 포함한다.</p> |
