一种基于PCDL型聚氨酯丙烯酸酯制备的光刻胶组合物

摘要

本发明公开了一种基于PCDL型聚氨酯丙烯酸酯制备的光刻胶组合物，所述组合物的原料及其各原料的质量百分含量为：聚氨酯丙烯酸酯45-60％，活性稀释剂10-15％，颜料4-6％，光引发剂3-5％，溶剂20-37％；在避光条件下，聚氨酯丙烯酸酯与光引发剂、溶剂、活性稀释剂以及颜料按比例混合，室温下磁力搅拌使其充分溶解，即得光致抗蚀剂。本发明组合物中PCDL型聚氨酯丙烯酸酯的玻璃化温度、硬度、较高，酸值可调，分子量较低，粘度小，以该低聚物配制的光致抗蚀剂膜稀碱液可显影，且显影时间短，图像分辨率较高。

主权项

一种基于PCDL型聚氨酯丙烯酸酯制备的光刻胶组合物，其特征在于所述组合物的原料及其各原料的质量百分含量为：所述聚氨酯丙烯酸酯为自己合成，其酸值为25‑70mgKOH/g，重均分子量为7000‑9500，双键当量为700‑1200g/mol；在避光条件下，聚氨酯丙烯酸酯与光引发剂、溶剂、活性稀释剂以及颜料按比例混合，室温下磁力搅拌使其充分溶解，即得光致抗蚀剂；将制成的光致抗蚀剂使用旋涂机涂覆在铜片上，75‑85℃条件下预烘30‑40分钟；在50‑300mJ/cm²曝光，然后在质量分数为0.5％的Na₂CO₃溶液中显影，显影时间40‑60s。