晶圆料盒

摘要

本实用新型提供一种晶圆料盒，包括盒体，所述盒体相对的两侧壁上分别设置有相互平行的隔板，每两相邻所述隔板之间形成用于容纳晶圆的槽，所述盒体的底部设置有用于对所述晶圆的缺口进行定向的定向装置。所述定向装置包括位于所述盒体底部中间的直杆，所述直杆垂直于所述隔板。通过在晶圆料盒底部设置有用于对所述晶圆的缺口进行定向的定向装置，使得放置各槽的晶圆圆片的缺口都固定为同一个方向。即解决翘曲晶圆圆片预对准台通过率问题，又能缩短晶圆圆片在预对位工作台缺口对位时的时间，提高设备生产效率。

主权项

一种晶圆料盒，包括盒体，所述盒体相对的两侧壁上分别设置有相互平行的隔板，每两相邻所述隔板之间形成用于容纳晶圆的槽，其特征在于，所述盒体的底部设置有用于对所述晶圆的缺口进行定向的定向装置。