发明名称 ЭЛЕКТРОННЫЙ СПЕКТРОГРАФ ДЛЯ АНАЛИЗА ПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР
摘要 Электронный спектрограф энергий заряженных частиц, состоящий из внутреннего цилиндрического электрода с входной и выходной полукольцевыми прорезями, выполненными на его боковой поверхности; внешнего цилиндрического электрода, механически и электрически связанного с ближним и дальним по отношению к входной прорези кольцеобразными электродами, коллектора частиц на основе плоского позиционно-чувствительного детектора и электростатического экрана; содержащий блок развертки отклоняющего потенциала, отличающийся тем, что на внешний цилиндр и соединенные с его противоположными торцами коаксиальные кольцевые электроды с блока развертки подается потенциал, создающий электрическое поле, которое отклоняет веерообразный электронный поток, испущенный осевым точечным источником и выделенный входной затянутой мелкоструктурной металлической сеткой полукольцевой прорезью во внутреннем цилиндре, в направлении оси системы сквозь выходную затянутую мелкоструктурной металлической сеткой кольцевую прорезь, и фокусирует составляющие потока с различными начальными энергиями на полукольцевые поверхности, имеющие разные средние радиусы, функционально связанные с начальными энергиями, и расположенные на поверхности позиционно-чувствительного детектора.
申请公布号 RU152659(U1) 申请公布日期 2015.06.10
申请号 RU20140147874U 申请日期 2014.11.28
申请人 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Рязанский государственный радиотехнический университет" 发明人 Гололобов Геннадий Петрович;Суворов Дмитрий Владимирович;Трубицын Андрей Афанасьевич;Сливкин Евгений Владимирович;Тарабрин Дмитрий Юрьевич
分类号 H01J49/00 主分类号 H01J49/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利