| 摘要 |
【課題】粒子径及び生成量が制御された異種材料のナノ粒子を同時に製造可能な方法、及び、その方法によって製造された異種ナノ粒子及び異種ナノ粒子が担持された複合材料、並びに、その製造装置の提供。【解決手段】物理蒸着において、被蒸着体１５の被蒸着面が、二つ以上の異種材料の蒸着源５−１，５−２から放出される蒸着物質６−１，６−２に一種類ずつ順次曝されると共に、被蒸着体１５がそれぞれの蒸着物質に曝される蒸着時間が制御される異種ナノ粒子の同時製造方法であり、その方法によって製造された異種ナノ粒子及び異種ナノ粒子が担持された複合材料。【選択図】図２ |
