对准感测器及高度感测器;ALIGNMENT SENSOR AND HEIGHT SENSOR

摘要

一实施例系关于一种感测一工件之对准及高度之器件。该器件可包含一对准感测器及一高度感测器两者。该对准感测器产生照亮该工件之一对准标记以便产生一第一反射束之一第一照明束，且使用该第一反射束来判定该工件之对准。该高度感测器产生依一斜角导引至该工件之一表面以便形成一第二照明点之一第二照明束，且使该第二照明点成像以判定该工件之高度。本发明亦揭示其他实施例、态样及特征。