| 发明名称 | 基板支承结构 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板支承结构，即使输送精度、装置的安装精度、支承位置的精度等存在误差，也能防止基板从支承部脱落或接触到不可接触范围。本发明的基板支承结构(1)具备基板支承构件(2)和保持构件(3)。基板支承构件(2)从基端侧向前端侧延伸，利用形成在上侧的支承部(2C)支承被处理基板(W)。保持构件(3)在基板(W)的支承位置的两侧处将基板支承构件(2)保持成支承部(2C)从基端(2A)侧朝向前端(2B)侧向下方倾斜。 | ||
| 申请公布号 | CN104658955A | 申请公布日期 | 2015.05.27 |
| 申请号 | CN201410474841.6 | 申请日期 | 2014.09.17 |
| 申请人 | 光洋热系统株式会社 | 发明人 | 中谷淳司 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 鹿屹;李雪春 |
| 主权项 | 一种基板支承结构，用于在收容并处理被处理基板的处理空间内的规定的支承位置上，将所述被处理基板支承成大致水平姿势，所述基板支承结构的特征在于，包括基板支承构件，所述基板支承构件从基端侧向前端侧延伸，并在所述支承位置的两侧利用从基端侧朝向前端侧向下方倾斜的支承部支承所述被处理基板。 | ||
| 地址 | 日本奈良县 | ||