| 发明名称 | 用于基板加工的监控方法和监控装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于基板加工的监控方法和监控装置，该监控方法包括：S10、检测处于检测工位的每个基板的状态信息，所述状态信息包括所述基板经过的每道工序的信息；S20、根据每个基板的状态信息判断每个基板的状态，并且，当每个基板的所述状态信息均包括预定工序信息时，执行步骤S30；当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，执行步骤S40；S30、控制每个基板进入预定工序的后一工序；S40、暂停对不包括所述预定工序信息的基板的加工。本发明可以防止未完成预定工序的基板直接进入后一工序而导致的基板报废等事故，且节省了人力。 | ||
| 申请公布号 | CN104656529A | 申请公布日期 | 2015.05.27 |
| 申请号 | CN201510001898.9 | 申请日期 | 2015.01.04 |
| 申请人 | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 姚成宜 |
| 分类号 | G05B19/048(2006.01)I | 主分类号 | G05B19/048(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 彭瑞欣;陈源 |
| 主权项 | 一种用于基板加工的监控方法，其特征在于，该监控方法包括：S10、检测处于检测工位的每个基板的状态信息，所述状态信息包括所述基板经过的每道工序的信息；S20、根据每个基板的状态信息判断每个基板的状态，并且，当每个基板的所述状态信息均包括预定工序信息时，执行步骤S30；当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，执行步骤S40；S30、控制每个基板进入预定工序的后一工序；S40、暂停对不包括所述预定工序信息的基板的加工。 | ||
| 地址 | 230012 安徽省合肥市新站区工业园内 | ||