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<p>레지스트액을 여과하는 필터 (14) 의 전후의 압력 변동을 작게 한다. 레지스트액이 저류된 충전액 탱크 (2) 와, 공급 펌프 (10) 에 의해 이 충전액 탱크 (2) 로부터 송출된 레지스트액을 충전 노즐 (8) 로 보내는 충전액 통로 (4) 와, 충전액 통로 (4) 의 도중의 분기부 (18) 로부터 분기되어 충전액 탱크 (2) 에 연통된 회수 통로 (16) 와, 충전액 통로 (4) 의 분기부 (18) 보다 하류측 (충전액 통로 (4) 의 하류부 (4B)) 에 형성된 충전 밸브 (12) 와, 회수 통로 (16) 에 형성된 회수 밸브 (20) 와, 상기 펌프 (10) 와 분기부 (18) 사이에 형성된 필터 (14) 와, 충전 밸브 (12) 및 회수 밸브 (20) 를 각각 구동하는 서보 모터와, 서보 모터를 제어하여 충전 밸브 (12) 와 회수 밸브 (20) 의 개도를 조정하는 제어 장치 (24) 를 구비하고 있고, 필터 (14) 의 상류측과 하류측의 압력이 변동하지 않도록 회수 밸브 (20) 의 개도를 제어한다.</p> |
