| 摘要 |
<p>본 발명은 복수층을 포함하는 패턴 화상과 같이 이종의 특징을 갖는 복수의 영역이 포함되는 화상에 대한 패턴 매칭을 고정밀도로 행하는 패턴 매칭 장치 등의 제공을 목적으로 한다. 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는 설계 데이터, 또는 촬상 화상에 기초하여 형성된 템플릿을 사용하여 대상 화상 상에서 패턴 매칭을 실행하는 패턴 매칭 장치이며, 상이한 복수의 대상 패턴을 포함하는 제1 템플릿을 사용하여 제1 대상 화상에 대한 패턴 매칭을 실행하고, 제1 대상 화상으로부터 특정 패턴을 포함하는 영역의 정보를 제외하여 제2 대상 화상을 작성하고, 그 제2 대상 화상과, 상기 특정 패턴 이외의 패턴 정보를 포함하는 제2 템플릿과의 사이의 유사도 판정을 행하는 패턴 매칭 장치를 제안한다.</p> |
