| 发明名称 |
FILTER AND APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE COMPRISING THE SAME |
| 摘要 |
<p>본 발명은 필터 및 그를 포함하는 기판 고정 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 필터는, 기 결정된 주파수 대역을 차단하는 제 1 대역 차단 필터; 상기 주파수 대역을 차단하는 제 2 대역 차단 필터; 및 상기 제 1 대역 차단 필터와 상기 제 2 대역 차단 필터 사이에 연결된 대역 통과 필터;를 포함할 수 있다.</p> |
| 申请公布号 |
KR101522894(B1) |
申请公布日期 |
2015.05.26 |
| 申请号 |
KR20130024630 |
申请日期 |
2013.03.07 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/687 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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