| 摘要 |
<p>본 발명은 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법은 기판 위에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계, 상기 박막 트랜지스터 위에 색필터를 형성하는 단계, 상기 색필터 위에 제1 보호막을 적층하는 단계, 상기 제1 보호막 위에 감광막을 도포하고 제1 광 마스크를 사용해 노광하여, 제1 부분 및 상기 제1 부분보다 두꺼운 제2 부분을 포함하고, 상기 제2 부분 둘레의 상기 제1 보호막을 띠 모양으로 노출하는 제1 감광막 패턴을 형성하는 단계, 상기 제1 감광막 패턴을 마스크로 하여 노출되어 있는 상기 제1 보호막을 식각하여 제거하는 단계, 상기 제1 감광막 패턴을 전면 식각하여 상기 제1 부분이 제거된 제2 감광막 패턴을 형성하는 단계, 상기 제2 감광막 패턴 위에 도전층을 적층하는 단계, 그리고 상기 제2 감광막 패턴을 제거함으로써 상기 도전층을 리프트 오프하여 화소 전극을 형성하는 단계를 포함한다.</p> |
