| 发明名称 |
光学コンポーネント |
| 摘要 |
光学コンポーネント（４０）は、変位のためにそれぞれが少なくとも１つのアクチュエータ（１３１）に接続された複数のミラー素子（２３）を有するミラーアレイ（２２）と、個々のミラー素子（２３）の絶対位置を予め定めるために、アクチュエータ（１３１）を外部のグローバル制御／調整デバイス（１３４）と信号送信接続させるための複数の信号線（４７）と、ミラー素子（２３）の位置決めを調整する複数のローカル調整デバイス（１３６）とを備え、当該調整デバイス（１３６）はそれぞれコンポーネント（４０；４０ａ）に完全に組み込まれる。【選択図】図３９ |
| 申请公布号 |
JP2015515116(A) |
申请公布日期 |
2015.05.21 |
| 申请号 |
JP20140557030 |
申请日期 |
2013.02.14 |
| 申请人 |
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー |
发明人 |
ゼヴェリン ヴァルディス;マティアス オース;ロジャー マルク ボストック;ジェン ダーング;セバスチャン ラニ;ベネディクト ナウフ;クリスティアン ケンプター |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;H05G2/00 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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