发明名称 Polishing apparatus and chemical mechanical polishing method of the inisde of a pipe using the apparatus
摘要 <p>본 발명은, 관 형태의 연마대상물과, 상기 연마대상물을 장착하여 고정하기 위한 고정수단과, 상기 연마대상물의 내측에 삽입되는 연마액과, 상기 연마대상물의 내측에 삽입되는 자성연마재와, 상기 연마대상물의 외측에 서로 이격되게 배열된 복수의 전자석 또는 복수의 영구자석을 포함하거나 상기 연마대상물의 외측을 감싸는 원주형으로 배치된 전자석을 포함하는 자력발생부와, 상기 연마대상물 및 상기 자력발생부 중에서 선택된 1종 이상을 회전시켜 상기 자성연마재에 유동을 가하기 위한 회전구동부를 포함하는 연마장치 및 이를 이용한 관 내부의 화학기계적 연마 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 연마재와 자력을 띠는 자성연마재를 혼합하여 이를 연마장치에 적용하여 연마가 곤란한 관의 내면을 기계 및 화학적으로 효과적으로 연마할 수 있다.</p>
申请公布号 KR101519390(B1) 申请公布日期 2015.05.21
申请号 KR20120061879 申请日期 2012.06.11
申请人 发明人
分类号 B24B31/112;B24B37/00;C25F3/24 主分类号 B24B31/112
代理机构 代理人
主权项
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