发明名称 |
化合物半导体装置及其制造方法 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWI485836 |
申请公布日期 |
2015.05.21 |
申请号 |
TW099116630 |
申请日期 |
2010.05.25 |
申请人 |
立积电子股份有限公司 |
发明人 |
彭国瑞;赵传珍;刘慈祥 |
分类号 |
H01L25/04;H01L21/768;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L25/04 |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
主权项 |
一种化合物半导体装置,包括:一砷化镓基板,具有一第一突出部与一第二突出部,其中该第一突出部位于该砷化镓基板之一第一部之上,而该第二突出部位于该砷化镓基板之一第二部之上;一第一元件,设置于该第一突出部之上;以及一第二元件,设置于该第二突出部之上,其中该第一元件与该第二元件之间具有介于2~30微米之一间距。
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地址 |
台北市内湖区堤顶大道2段407巷20弄1号3楼 |