发明名称 化合物半导体装置及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI485836 申请公布日期 2015.05.21
申请号 TW099116630 申请日期 2010.05.25
申请人 立积电子股份有限公司 发明人 彭国瑞;赵传珍;刘慈祥
分类号 H01L25/04;H01L21/768;H01L21/027 主分类号 H01L25/04
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项 一种化合物半导体装置,包括:一砷化镓基板,具有一第一突出部与一第二突出部,其中该第一突出部位于该砷化镓基板之一第一部之上,而该第二突出部位于该砷化镓基板之一第二部之上;一第一元件,设置于该第一突出部之上;以及一第二元件,设置于该第二突出部之上,其中该第一元件与该第二元件之间具有介于2~30微米之一间距。
地址 台北市内湖区堤顶大道2段407巷20弄1号3楼