发明名称 OPTICAL COUPLING DEVICE AND METHOD FOR OPERATION THEREOF
摘要 <p>Betriebsverfahren einer selbstjustierenden optischen Koppelvorrichtung zum selbsttätigen Ermitteln eines zu einer eingestellten Abstands-Stellgröße gehörigen Abstandswertes zwischen einer einen Lichtstrahl aussendenden optischen Quelle und einer optischen Senke, in die der Lichtstrahl einzukoppeln ist, umfassend: - Bereitstellen von Referenz-Strahlweitedaten, die Werte einer Strahlweite als Funktion unterschiedlicher Abstandswerte zwischen einer Auskoppelebene der Quelle und einer Einkoppelebene der Senke repräsentieren; - Einstellen einer Vielzahl lateraler Relativpositionen von Quelle und Senke bei ein und derselben, die Einkoppelebene bestimmenden Abstands-Stellgröße, und jeweils Erfassen eines Intensitätssignals, das ein Maß für eine von einer Auskoppelfläche der Quelle in der Auskoppelebene ausgekoppelte und in die Einkoppelfläche der Senke eingekoppelte Lichtintensität ist; - Berechnen eines Wertes einer die Strahlweite des von der Quelle ausgekoppelten Lichtstrahls in der Einkoppelebene repräsentierenden Größe anhand der erfassten Lichtintensitäten in der Vielzahl lateraler Relativpositionen; und - Bestimmen des senkrechten Abstandswertes, welcher der eingestellten Abstands-Stellgröße zugeordnet ist, anhand des ermittelten Wertes der Strahlweite und anhand der Referenz-Strahlweitedaten.</p>
申请公布号 WO2015071317(A1) 申请公布日期 2015.05.21
申请号 WO2014EP74385 申请日期 2014.11.12
申请人 IHP GMBH - INNOVATIONS FOR HIGH PERFORMANCE MICROELECTRONICS / LEIBNIZ-INSTITUT FÜR INNOVATIVE MIKROELEKTRONIK 发明人 KROH, MARCEL;JÄGER, MATTHIAS;VOLKMANN, DANNY
分类号 G02B6/30;G02B6/42 主分类号 G02B6/30
代理机构 代理人
主权项
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